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  1. 1
    由 Mack, Chris A.
    出版 2007
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    Fundamental principles of optical lithography : the science of microfabrication /
  2. 2
    由 Nonogaki, Saburo, 1930-
    出版 1998
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    Microlithography fundamentals in semiconductor devices and fabrication technology /
  3. 3
    出版 1998
    主题 “...Microlithography Industrial applications....”
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    Microlithography : science and technology /
  4. 4
    出版 2008
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    Emerging lithographic technologies XII : 26-28 February 2008, San Jose, California, USA /

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