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  1. 1
    Veröffentlicht 2008
    Elektronisch Software E-Book
    Zu den Favoriten
    Gespeichert in:
    Photonics West 2008 MOEMS, MEMS, micro and nanofabrication : 19-24 January 2008, San Jose, California, USA.
  2. 2
    Veröffentlicht 2008
    Buch
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    Gespeichert in:
    Device and process technologies for microelectronics, MEMS, photonics, and nanotechnology IV : 5-7 December 2007, Canberra, Australia /

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