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  1. 1
    Veröffentlicht 2008
    Buch
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    Device and process technologies for microelectronics, MEMS, photonics, and nanotechnology IV : 5-7 December 2007, Canberra, Australia /
  2. 2
    von Lyshevski, Sergey Edward
    Veröffentlicht 2001
    Buch
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    Gespeichert in:
    MEMS and NEMS : systems, devices, and structures /
  3. 3
    von Banks, Danny
    Veröffentlicht 2006
    Buch
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    Microengineering, MEMS, and interfacing : a practical guide /

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