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  1. 1
    von Carder, D. A.
    Veröffentlicht 2009
    “...QC 702.7 .I55 .C266 2009...”
    Buch
    Zu den Favoriten
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    The formation of novel nanostructures using a combination of Si, N, C implantation into wafer silicon and glassy carbon on the SiC-Si₃N₄ tie-line /
  2. 2
    von Carder, D. A.
    Veröffentlicht 2009
    “...QC 702.7 .I55 .C266 o 2009...”
    Buch
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    Operation of low-energy ion implanters for Si, N, C, ion implantation into silicon and glassy carbon /

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