Emerging lithographic technologies XII : 26-28 February 2008, San Jose, California, USA / Frank M. Schellenberg, editor ; sponsored by SPIE ; cooperating organization, SEMATECH (USA).

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
منشور في: Bellingham, Wash. : SPIE, c2008.
مؤلفون مشاركون:
مؤلفون آخرون:
سلاسل:Proceedings of SPIE--the International Society for Optical Engineering ; v. 6921.
الموضوعات:
التنسيق: كتاب

مواد مشابهة